SolrQueryCompletionProxy
QueryCompletionProxy
2
DIESE WEBSITE GEHT AM 13.09.2024 OFFLINE!Bitte nutzen Sie den neuen Online-Katalog unter
https://opac.ub.lmu.de!
Nanoelektromechanische Siliziumaktuatoren und deren optische Charakterisierung
Nanoelektromechanische Siliziumaktuatoren und deren optische Charakterisierung
Kantilever - Nanostruktur - Auslenkung - Elektromechanischer Effekt - Mikroaktor Kantilever - SOI-Technik - Heterostruktur-Bauelement - MEMS Hochschulschrift
![](default/images/buch01.gif)
Buch
Autor: | Meyer, Christine |
Titel: | Nanoelektromechanische Siliziumaktuatoren und deren optische Charakterisierung |
Von: | Christine Meyer |
Jahr: | 2004 |
Umfang: | X, 155 S. |
Illustrationsangabe: | Ill., graph. Darst. |
Sprache: | ger |
Anmerkungen: | München, Univ., Diss., 2004 |
BV-Nummer: | BV019873595 |
Diese Webseite geht am 13.09.2024 offline
Bitte nutzen Sie den neuen Online-Katalog unter https://opac.ub.lmu.de