Untersuchung von oberflächennahen Nanostrukturen in Silizium-Systemen nach Ionenimplantation und bei epitaktischem Wachstum mit Methoden der Röntgenstreuung
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Untersuchung von oberflächennahen Nanostrukturen in Silizium-Systemen nach Ionenimplantation und bei epitaktischem Wachstum mit Methoden der Röntgenstreuung
Autor:Beck, Udo W. L. Ort, Verlag, Jahr:
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1999 Umfang:
167 S.
Untersuchung von oberflächennahen Nanostrukturen in Silizium-Systemen nach Ionenimplantation und bei epitaktischem Wachstum mit Methoden der Röntgenstreuung
Von:
von Udo W. L. Beck
Jahr:
1999
Umfang:
167 S.
Illustrationsangabe:
Ill., graph. Darst.
Anmerkungen:
München, Univ., Fak. für Physik, Diss., 1999
BV-Nummer:
BV012809712
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